文件类型 : PDF

文件版本 : Z0415-0045

简要说明 : 实现了高速和高精度响应的伺服电机/驱动器，活用于半导体制造装置与机器人。 客户可从对应了各种控制与通信方式的阵容中，挑选出适合其用途的电机。